SuperViewW光學(xué)3D表面輪廓儀基于白光干涉原理，以3D非接觸方式，測量分析樣品表面形貌的關(guān)鍵參數(shù)和尺寸，從01nm級別的超光滑表面到數(shù)十微米級別的粗糙度表面，儀器均能實(shí)現(xiàn)高精度測量2三坐標(biāo)測量機(jī) MarsClassic三坐標(biāo)是國。

精密儀器有經(jīng)緯儀圓度儀輪廓儀氣壓計真空計等1經(jīng)緯儀 經(jīng)緯儀是一種根據(jù)測角原理設(shè)計的測量水平角和豎直角的測量儀器，分為光學(xué)經(jīng)緯儀和電子經(jīng)緯儀兩種，最常用的是電子經(jīng)緯儀2圓度儀 圓度儀Roundnes。

溫度測量儀器分類1氣體溫度計多用氫氣或氦氣作測溫物質(zhì)，因?yàn)闅錃夂秃獾囊夯瘻囟群艿停咏诮^對零度，故它的測溫范圍很廣這種溫度計精確度很高，多用于精密測量2電阻溫度計分為金屬電阻溫度計和半導(dǎo)體電阻溫度計。

精密儀器是指用以產(chǎn)生測量精密量的設(shè)備和裝置，包括對精密量的觀察監(jiān)視測定驗(yàn)證記錄傳輸變換顯示分析處理與控制對于用于測量的精密儀器而言，可將其結(jié)構(gòu)分為基準(zhǔn)感受轉(zhuǎn)換轉(zhuǎn)換放大傳輸瞄準(zhǔn)讀數(shù)數(shù)據(jù)。